通常使用的检测器是一种电子倍增器，如下图所示：

它的结构类似于光电倍增管，由很多串联的电极板构成，这些电极称为打拿极（dynode），每两个打拿极都均匀分担着外加的高压。当离子入射到第一个打拿极时，和电极碰撞，离子消失，同时产生了自由电子，电子在电场作用下向下一级电极板移动，并打出更多的电子，如此形成了倍增效应。当一个离子入射时，将最终在输出端形成一个脉冲信号。
    检测器通过对一定时间内的脉冲信号的计数可以得到离子强度的相对值，检测器工作在数字检测方式。当离子强度较大时，达到产生的电子脉冲互相重叠时，脉冲数目便无法计算了，即达到了饱和，此时检测器可以切换到模拟检测方式（累计信号），如下图所示。

ICP-MS电子倍增器，动态线性范围≥10个数量级；能够满足从亚ppt级到百分级浓度的测定；对于Na标准溶液浓度0、5000ppm、10000ppm建立的标准曲线，线性优于0.999，软件截图如下：